DFD6341 ディスク

DISCO Dicing Saw  DFD6341DISCO DFD6341は、Φ200mm(8インチ)ウェハ用の完全自動化された対向型デュアルスピンドルダイシングマシンであり、8インチウェハの量産における主流モデルとして位置づけられています。

本機の最大の改良点は、300mmモデルDFD6362のスループット向上技術を組み込んだことで、X軸の戻り速度を1,000mm/sに向上させたことです。全軸の加速・減速性能を最適化し、スピンドル間隔を短縮したことで、デュアルブレードダイシング時の処理時間を大幅に短縮しました。設置面積は前機種DFD6340に比べて約3%縮小しながらも、トランス、UPS、CO₂インジェクター、ブースターポンプの4種類のコンポーネントを内蔵しており、追加のスペースは不要です。操作面では、市場で実績のあるGUIとLCDタッチパネルの組み合わせを維持しつつ、高速フラッシュキャリブレーション機能(オプション)により、テーブルの位置合わせを迅速かつ中断なく行うことができます。

仕様としては、スピンドル出力は1.2kW、1.8kW、または2.2kWから選択可能で、回転速度範囲は6,000~60,000 min⁻¹(高速仕様では最大80,000 min⁻¹)です。Y軸のインデックスステップ精度は0.0001 mm、Z軸の繰り返し精度は0.001 mmです。


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