DISCO DFD6341은 Φ200mm(8인치) 웨이퍼용 완전 자동화된 대향형 이중 스핀들 다이싱 장비로, 8인치 대량 생산을 위한 주력 모델로 자리매김하고 있습니다.
핵심적인 업그레이드는 300mm 모델 DFD6362의 처리량 향상 기술을 통합하여 X축 복귀 속도를 1,000mm/s로 높인 데 있습니다. 모든 축에 걸쳐 최적화된 가속 및 감속 성능과 짧아진 스핀들 간격이 결합되어 이중 블레이드 다이싱 시 처리 시간을 크게 단축합니다. 이전 모델인 DFD6340 대비 설치 공간을 약 3% 줄였지만, 변압기, UPS, CO₂ 주입기, 부스터 펌프 등 4가지 구성 요소를 그대로 통합하여 추가 공간을 필요로 하지 않습니다. 작동 방식은 시장에서 검증된 GUI와 LCD 터치 패널 조합을 유지하며, 빠르고 중단 없는 테이블 정렬을 위한 고속 플래시 캘리브레이션 기능을 옵션으로 제공합니다.
사양 측면에서 스핀들 출력은 1.2kW, 1.8kW 또는 2.2kW로 제공되며, 속도 범위는 6,000~60,000 min⁻¹(고속 사양의 경우 최대 80,000 min⁻¹)입니다. Y축 인덱싱 스텝 정밀도는 0.0001mm이고, Z축 반복 정밀도는 0.001mm입니다.
