Это основной приводной компонент в составе монтажной головки устройства для склеивания кристаллов Besi, отвечающий за точное вертикальное позиционирование и контроль усилия.
В процессе монтажа кристаллов двигатель по оси Z приводит в движение монтажную головку, осуществляя захват кристалла, его размещение методом прижима вниз и компенсацию высоты; точность этого процесса напрямую определяет качество размещения кристалла и процент поломок микросхем.
