
دستگاه حلقه ویفر در دستگاه اتصال قالب Besi، جزء اصلی سیستم تغذیه ویفر است. این دستگاه، فیلم آبی را روی ویفر خرد شده نگه میدارد و حلقه ویفر را دقیقاً به موقعیت تغذیه قالب منتقل میکند، جایی که مکانیزم پین بیرونانداز، فیلم آبی را سوراخ کرده و قالب را بیرون میآورد. در خطوط تولید خودکار، این دستگاه همچنین در تغذیه حلقههای ویفر پر و بازیافت حلقههای ویفر خالی برای اطمینان از تداوم چرخه اتصال قالب نقش دارد. دقت موقعیتیابی آن مستقیماً بر میزان موفقیت برداشتن قالب و راندمان اتصال قالب تأثیر میگذارد.











