Besi社のダイボンダーに搭載されているウェーハリング装置は、ウェーハ供給システムの中核部品です。この装置は、ダイシングされたウェーハ上の青色フィルムを保持し、ウェーハリングをダイ供給位置まで正確に搬送します。ダイ供給位置では、イジェクタピン機構が青色フィルムを貫通し、ダイを排出します。自動生産ラインでは、この装置は、完全なウェーハリングの供給と空のウェーハリングのリサイクルにも関与し、ダイボンディングサイクルの連続性を確保します。その位置決め精度は、ダイピックアップの成功率とダイボンディング効率に直接影響します。
