ASM MS90 EPM-module 02-E11084-09/A


MS90 power distribution box.webp

Die ASM MS90 is 'n volledig outomatiese waferkaart-gebaseerde matryssorteringstelsel, hoofsaaklik ontwerp vir die klassifikasie en pluk van halfgeleiermatryse. Dit beskik oor 'n dubbelkop-pluk-en-plaas-arm wat deur lineêre motors aangedryf word, ondersteun matryse wat wissel van 0.15 mm tot 5 mm vierkant, bied 'n standaard XY-posisioneringsakkuraatheid van ±38 µm, en kan wafers tot 8 duim in deursnee verwerk.

Die EPM (Elektroniese Pick Module), in samewerking met lineêre motors en direkte-aandrywingsmotors, maak presiese XY-posisionering moontlik.


Plasingstyd:

Versoek inligting Kontak ons

  • ASM
  • JUKI
  • fUJI
  • YAMAHA
  • PANA
  • SAM
  • HITA
  • UNIVERSAL