
Die ASM MS90 is 'n volledig outomatiese waferkaart-gebaseerde matryssorteringstelsel, hoofsaaklik ontwerp vir die klassifikasie en pluk van halfgeleiermatryse. Dit beskik oor 'n dubbelkop-pluk-en-plaas-arm wat deur lineêre motors aangedryf word, ondersteun matryse wat wissel van 0.15 mm tot 5 mm vierkant, bied 'n standaard XY-posisioneringsakkuraatheid van ±38 µm, en kan wafers tot 8 duim in deursnee verwerk.
Die EPM (Elektroniese Pick Module), in samewerking met lineêre motors en direkte-aandrywingsmotors, maak presiese XY-posisionering moontlik.











