
ASM MS90 എന്നത് പൂർണ്ണമായും ഓട്ടോമേറ്റഡ് വേഫർ-മാപ്പ് അധിഷ്ഠിത ഡൈ സോർട്ടിംഗ് സിസ്റ്റമാണ്, പ്രാഥമികമായി സെമികണ്ടക്ടർ ഡൈകളുടെ വർഗ്ഗീകരണത്തിനും തിരഞ്ഞെടുക്കലിനും വേണ്ടി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിരിക്കുന്നു. ലീനിയർ മോട്ടോറുകളാൽ നയിക്കപ്പെടുന്ന ഡ്യുവൽ-ഹെഡ് പിക്ക്-ആൻഡ്-പ്ലേസ് ആം, 0.15 mm മുതൽ 5 mm വരെ ചതുരാകൃതിയിലുള്ള ഡൈകളെ പിന്തുണയ്ക്കുന്നു, ±38 µm എന്ന സ്റ്റാൻഡേർഡ് XY പൊസിഷനിംഗ് കൃത്യത വാഗ്ദാനം ചെയ്യുന്നു, കൂടാതെ 8 ഇഞ്ച് വരെ വ്യാസമുള്ള വേഫറുകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയും.
ലീനിയർ മോട്ടോറുകളുമായും ഡയറക്ട്-ഡ്രൈവ് മോട്ടോറുകളുമായും സംയോജിച്ച്, കൃത്യമായ XY പൊസിഷനിംഗ് സാധ്യമാക്കുന്നതാണ് EPM (ഇലക്ട്രോണിക് പിക്ക് മൊഡ്യൂൾ).











