O le ASM MS90 o se faiga fa'avasega o die e fa'avae i luga o le wafer-map, ua mamanuina faapitoa mo le fa'avasega ma le pikiina o die semiconductor. O lo'o i ai se lima e piki ma tu'u ai ulu e lua e fa'agaoioia e afi laina, e lagolagoina die e amata mai le 0.15 mm i le 5 mm sikuea, e ofoina atu le sa'o o le tulaga XY masani o le ±38 µm, ma e mafai ona fa'agasolo wafers e o'o atu i le 8 inisi le lautele.
O le EPM (Electronic Pick Module), fa'atasi ai ma afi linear ma afi direct-drive, e mafai ai ona fa'atulaga sa'o le XY.
