
ASM MS90, əsasən yarımkeçirici qəliblərin təsnifatı və seçilməsi üçün hazırlanmış tam avtomatlaşdırılmış lövhə xəritəsinə əsaslanan qəlib çeşidləmə sistemidir. O, xətti mühərriklər tərəfindən idarə olunan iki başlıqlı seçmə və yerləşdirmə qoluna malikdir, 0,15 mm-dən 5 mm kvadrata qədər qəlibləri dəstəkləyir, ±38 µm standart XY yerləşdirmə dəqiqliyi təklif edir və diametri 8 düymə qədər olan lövhələri emal edə bilir.
EPM (Elektron Seçim Modulu), xətti mühərriklər və birbaşa ötürücülü mühərriklərlə birlikdə dəqiq XY yerləşdirməsini təmin edir.











