Das ASM MS90 ist ein vollautomatisches, waferbasiertes Chipsortiersystem, das primär für die Klassifizierung und das Aufnehmen von Halbleiterchips entwickelt wurde. Es verfügt über einen Doppelkopf-Bestückungsarm mit Linearmotoren, unterstützt Chips mit Kantenlängen von 0,15 mm bis 5 mm, bietet eine standardmäßige XY-Positioniergenauigkeit von ±38 µm und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll verarbeiten.
Das EPM (Electronic Pick Module) ermöglicht in Verbindung mit Linearmotoren und Direktantriebsmotoren eine präzise XY-Positionierung.
