
ASM MS90 એ સંપૂર્ણપણે સ્વચાલિત વેફર-મેપ-આધારિત ડાઇ સોર્ટિંગ સિસ્ટમ છે, જે મુખ્યત્વે સેમિકન્ડક્ટર ડાઇના વર્ગીકરણ અને ચૂંટવા માટે રચાયેલ છે. તેમાં રેખીય મોટર્સ દ્વારા સંચાલિત ડ્યુઅલ-હેડ પિક-એન્ડ-પ્લેસ આર્મ છે, જે 0.15 મીમીથી 5 મીમી ચોરસ સુધીના ડાઇને સપોર્ટ કરે છે, ±38 µm ની પ્રમાણભૂત XY પોઝિશનિંગ ચોકસાઈ પ્રદાન કરે છે, અને 8 ઇંચ વ્યાસ સુધીના વેફર્સને પ્રક્રિયા કરી શકે છે.
EPM (ઇલેક્ટ્રોનિક પિક મોડ્યુલ), લીનિયર મોટર્સ અને ડાયરેક્ટ-ડ્રાઇવ મોટર્સ સાથે મળીને, ચોક્કસ XY પોઝિશનિંગને સક્ષમ કરે છે.











