ASM MS90 ialah sistem penyusunan acuan berasaskan peta wafer automatik sepenuhnya, yang direka terutamanya untuk pengelasan dan pemilihan acuan semikonduktor. Ia mempunyai lengan pilih dan letak dua kepala yang dipacu oleh motor linear, menyokong acuan bersaiz antara 0.15 mm hingga 5 mm persegi, menawarkan ketepatan kedudukan XY standard ±38 µm, dan boleh memproses wafer berdiameter sehingga 8 inci.
EPM (Modul Pick Elektronik), bersama-sama dengan motor linear dan motor pacuan terus, membolehkan kedudukan XY yang tepat.
