ASM MS90은 웨이퍼 맵 기반의 완전 자동 다이 분류 시스템으로, 주로 반도체 다이의 분류 및 선별을 위해 설계되었습니다. 선형 모터로 구동되는 듀얼 헤드 픽앤플레이스 암을 갖추고 있으며, 0.15mm에서 5mm 정사각형 크기의 다이를 지원하고, ±38µm의 표준 XY 위치 정밀도를 제공하며, 최대 8인치 직경의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.
EPM(전자식 피킹 모듈)은 선형 모터 및 직접 구동 모터와 함께 정밀한 XY 위치 지정을 가능하게 합니다.
