ASM MS90, esasan ýarymgeçirijili ştamplary klassifikasiýa etmek we saýlamak üçin niýetlenen doly awtomatlaşdyrylan wafer kartasyna esaslanýan ştamplary tertiplemek ulgamydyr. Ol çyzykly hereketlendirijiler tarapyndan hereketlendirilýän iki başly saýlama we ýerleşdirme goluna eýedir, 0,15 mm-den 5 mm inedördül ölçegli ştamplary goldaýar, ±38 µm standart XY ýerleşdirme takyklygyny hödürleýär we diametri 8 dýuýma çenli waferleri işläp bilýär.
EPM (Elektron saýlama moduly), çyzykly hereketlendirijiler we göni hereketlendirijiler bilen bilelikde, XY-niň takyk ýerleşmegini üpjün edýär.
