
ASM MS90 jẹ́ ètò ìṣètò kú tí a fi àwòrán wafer-map ṣe, tí a ṣe pàtàkì fún ìpínsísọ̀rí àti yíyan àwọn kú semiconductor. Ó ní apá ìpè-àti-ibi méjì tí àwọn mọ́tò linear ń darí, ó ń ṣe àtìlẹ́yìn fún àwọn kú tí ó wà láti 0.15 mm sí 5 mm onígun mẹ́rin, ó ní ìṣedéédé ipò XY tí ó wọ́pọ̀ tí ó jẹ́ ±38 µm, ó sì lè ṣe iṣẹ́ àwọn wáfúrù tí ó tó 8 inches ní ìwọ̀n ìlà.
EPM (Electronic Pick Module), ní ìsopọ̀ pẹ̀lú àwọn mọ́tò linear àti àwọn mọ́tò direct-drive, ń jẹ́ kí ipò XY tí ó péye ṣeé ṣe.











