ASM MS90 a se yon sistèm klasman mwazi konplètman otomatik ki baze sou kat wafer, prensipalman fèt pou klasifikasyon ak seleksyon mwazi semi-kondiktè. Li gen yon bra doub tèt pou chwazi epi mete ki mache ak motè lineyè, li sipòte mwazi ki soti nan 0.15 mm rive nan 5 mm kare, li ofri yon presizyon pozisyonman XY estanda ±38 µm, epi li ka trete wafer jiska 8 pous an dyamèt.
EPM a (Modil Pik Elektwonik), ansanm ak motè lineyè ak motè transmisyon dirèk, pèmèt yon pozisyonman XY presi.
