
ASM MS90 yra visiškai automatizuota plokštelių žemėlapio pagrindu sukurta kristalų rūšiavimo sistema, pirmiausia skirta puslaidininkinių kristalų klasifikavimui ir atrankai. Ji turi dvigalvę atrankos svirtį, varomą linijiniais varikliais, palaiko kristalus nuo 0,15 mm iki 5 mm kvadratu, siūlo standartinį XY padėties nustatymo tikslumą ±38 µm ir gali apdoroti iki 8 colių skersmens plokšteles.
EPM (elektroninis surinkimo modulis) kartu su linijiniais ir tiesioginės pavaros varikliais leidžia tiksliai nustatyti XY ašies padėtį.











