Module EPM ASM MS90 02-E11084-09/A


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L'ASM MS90 est un système de tri de puces entièrement automatisé, basé sur la cartographie des plaquettes et conçu principalement pour la classification et la sélection de puces semi-conductrices. Il est doté d'un bras de prélèvement et de placement à double tête entraîné par des moteurs linéaires, prend en charge des puces de 0,15 mm à 5 mm de côté, offre une précision de positionnement XY standard de ±38 µm et peut traiter des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre.

Le module EPM (Electronic Pick Module), associé à des moteurs linéaires et à des moteurs à entraînement direct, permet un positionnement XY précis.


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