ASM MS90 sirna daayi sassaabuu guutummaatti ofumaan hojjetu kaartaa weefar irratti hundaa'eedha, adda durummaan ramaddii fi fudhachuu daayi semiikondaaktariitiif kan qophaa'edha. Harka mataa lamaa kan qabuu fi kan mootorootni sararaan oofan kan qabu yoo ta'u, daayi 0.15 mm hanga 5 mm iskuweer ta'e kan deeggaru yoo ta'u, sirrii ta'uu XY istaandaardii ±38 μm kan dhiyeessu yoo ta'u, wafers hanga inchii 8 daayameetira qaban adeemsisuu danda'a.
EPM (Electronic Pick Module), mootorootni sararaawaa fi mootorootni kallattiin oofan waliin ta’uun, bakka XY sirrii ta’e kaa’uu dandeessisa.
