
ASM MS90 అనేది పూర్తిగా స్వయంచాలిత వేఫర్-మ్యాప్ ఆధారిత డై సార్టింగ్ సిస్టమ్, ఇది ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ డైల వర్గీకరణ మరియు ఎంపిక కోసం రూపొందించబడింది. దీనిలో లీనియర్ మోటార్లచే నడపబడే డ్యూయల్-హెడ్ పిక్-అండ్-ప్లేస్ ఆర్మ్ ఉంటుంది, ఇది 0.15 మిమీ నుండి 5 మిమీ చదరపు పరిమాణంలో ఉన్న డైలకు మద్దతు ఇస్తుంది, ±38 µm ప్రామాణిక XY పొజిషనింగ్ కచ్చితత్వాన్ని అందిస్తుంది మరియు 8 అంగుళాల వ్యాసం వరకు ఉన్న వేఫర్లను ప్రాసెస్ చేయగలదు.
EPM (ఎలక్ట్రానిక్ పిక్ మాడ్యూల్), లీనియర్ మోటార్లు మరియు డైరెక్ట్-డ్రైవ్ మోటార్లతో కలిసి, ఖచ్చితమైన XY పొజిషనింగ్ను సాధ్యం చేస్తుంది.











