ប្រព័ន្ធ ASM MS90 គឺជាប្រព័ន្ធតម្រៀបផ្សិតដែលមានមូលដ្ឋានលើផែនទីវ៉ាហ្វឺរដោយស្វ័យប្រវត្តិយ៉ាងពេញលេញ ដែលត្រូវបានរចនាឡើងជាចម្បងសម្រាប់ការចាត់ថ្នាក់ និងការជ្រើសរើសផ្សិតពាក់កណ្តាលចរន្ត។ វាមានដៃរើស និងដាក់ក្បាលពីរដែលដំណើរការដោយម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ ទ្រទ្រង់ផ្សិតដែលមានទំហំចាប់ពី 0.15 មីលីម៉ែត្រ ដល់ 5 មីលីម៉ែត្រការ៉េ ផ្តល់នូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការកំណត់ទីតាំង XY ស្តង់ដារ ±38 µm និងអាចដំណើរការបន្ទះវ៉ាហ្វឺរដែលមានអង្កត់ផ្ចិតរហូតដល់ 8 អ៊ីញ។
ម៉ូឌុលជ្រើសរើសអេឡិចត្រូនិក (EPM) រួមជាមួយម៉ូទ័រលីនេអ៊ែរ និងម៉ូទ័របើកបរផ្ទាល់ អាចឱ្យមានទីតាំង XY បានយ៉ាងច្បាស់លាស់។
