ASM MS90は、半導体ダイの分類とピックアップを主目的とした、完全自動化されたウェハマップベースのダイ選別システムです。リニアモーター駆動のデュアルヘッドピックアンドプレースアームを備え、0.15mmから5mm角までのダイに対応し、標準的なXY位置決め精度は±38µm、最大8インチ径のウェハを処理できます。
EPM（電子ピックモジュール）は、リニアモーターやダイレクトドライブモーターと組み合わせることで、高精度なXY位置決めを可能にします。
投稿時間:
