
ASM MS90 یک سیستم مرتبسازی قالب کاملاً خودکار مبتنی بر نقشه ویفر است که در درجه اول برای طبقهبندی و برداشتن قالبهای نیمههادی طراحی شده است. این سیستم دارای یک بازوی برداشتن و گذاشتن دو سر است که توسط موتورهای خطی هدایت میشود، از قالبهایی با ابعاد 0.15 میلیمتر تا 5 میلیمتر مربع پشتیبانی میکند، دقت موقعیتیابی XY استاندارد ±38 میکرومتر را ارائه میدهد و میتواند ویفرهایی تا قطر 8 اینچ را پردازش کند.
ماژول انتخاب الکترونیکی (EPM) در کنار موتورهای خطی و موتورهای محرک مستقیم، امکان موقعیتیابی دقیق XY را فراهم میکند.











