ASM MS90 — це повністю автоматизована система сортування кристалів на основі карти пластин, призначена в першу чергу для класифікації та вибору напівпровідникових кристалів. Вона оснащена двоголовковим маніпулятором, що приводиться в рух лінійними двигунами, підтримує кристали розміром від 0,15 мм до 5 мм², пропонує стандартну точність позиціонування XY ±38 мкм і може обробляти пластини діаметром до 8 дюймів.
EPM (електронний модуль підбирання) у поєднанні з лінійними двигунами та двигунами прямого приводу забезпечує точне позиціонування XY.
