ASM MS90 هڪ مڪمل طور تي خودڪار ويفر-ميپ تي ٻڌل ڊائي سورٽنگ سسٽم آهي، جيڪو بنيادي طور تي سيمي ڪنڊڪٽر ڊائيز جي درجه بندي ۽ چونڊ لاءِ ٺاهيو ويو آهي. ان ۾ لڪير موٽرز ذريعي هلندڙ ڊبل هيڊ پڪ اينڊ پليس آرم شامل آهي، 0.15 ملي ميٽر کان 5 ملي ميٽر چورس تائين ڊائيز کي سپورٽ ڪري ٿو، ±38 µm جي معياري XY پوزيشننگ جي درستگي پيش ڪري ٿو، ۽ 8 انچ قطر تائين ويفرز کي پروسيس ڪري سگهي ٿو.
EPM (اليڪٽرانڪ پِڪ ماڊيول)، لڪير موٽرز ۽ ڊائريڪٽ ڊرائيو موٽرز سان گڏ، صحيح XY پوزيشننگ کي قابل بڻائي ٿو.
