ASM MS90 bụ sistemụ nhazi wafer-map nke ejiri aka rụọ nke ọma, nke e mere maka nhazi na ịhọrọ nke semiconductor dies. O nwere ogwe aka abụọ nke injin linear na-anya, na-akwado dies site na 0.15 mm ruo 5 mm square, na-enye izi ezi nke ọnọdụ XY ọkọlọtọ nke ±38 µm, ma nwee ike ịhazi wafers ruo sentimita asatọ na dayameta.
EPM (Electronic Pick Module), yana moto ndị na-agbagharị n'ahịrị na moto ndị na-agbagharị ozugbo, na-enye ohere ka e nwee ọnọdụ XY kpọmkwem.
