Den ASM MS90 ass e vollautomatiséiert Chip-Sortéierungssystem op Basis vu Wafer-Maps, dat haaptsächlech fir d'Klassifikatioun an d'Auswiele vu Hallefleeder-Chips entwéckelt gouf. En huet en Duebelkapp-Pick-and-Place-Aarm, dee vu Linearmotoren ugedriwwe gëtt, ënnerstëtzt Chips mat Gréissten vun 0,15 mm bis 5 mm Quadrat, bitt eng Standard-XY-Positionéierungsgenauegkeet vun ±38 µm a kann Waferen mat engem Duerchmiesser vu bis zu 8 Zoll veraarbechten.
Den EPM (Electronic Pick Module) erméiglecht a Verbindung mat Linearmotoren an Direktundriffsmotoren eng präzis XY-Positionéierung.
