
ASM MS90 waa nidaam kala soocid oo ku salaysan khariidadda wafer-ka oo si buuxda otomaatig u ah, oo ugu horreyn loogu talagalay kala soocidda iyo soo xulista diishyada semiconductor-ka. Waxay leedahay gacan laba-madax ah oo soo-qaadis iyo meel-dhigis ah oo ay wadaan matoorro toosan, waxay taageertaa diishyada oo u dhexeeya 0.15 mm ilaa 5 mm laba jibbaaran, waxay bixisaa saxnaanta booska XY ee caadiga ah ee ±38 µm, waxayna farsamayn kartaa wafers-ka dhexroorkoodu yahay ilaa 8 inji.
EPM (Module Elektronik Pick), oo ay weheliso matoorada toosan iyo matoorada tooska ah ee wadista, waxay suurtogal ka dhigaysaa booska XY ee saxda ah.











