Система ASM MS90 — это полностью автоматизированная система сортировки кристаллов на основе карты пластин, предназначенная в первую очередь для классификации и захвата полупроводниковых кристаллов. Она оснащена двухголовочным манипулятором для захвата и перемещения, приводимым в движение линейными двигателями, поддерживает кристаллы размером от 0,15 мм до 5 мм в квадрате, обеспечивает стандартную точность позиционирования по осям XY ±38 мкм и может обрабатывать пластины диаметром до 8 дюймов.
Электронный модуль захвата (EPM) в сочетании с линейными двигателями и двигателями прямого привода обеспечивает точное позиционирование по осям XY.
