
ASM MS90 යනු සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීය වේෆර්-සිතියම් මත පදනම් වූ ඩයි වර්ග කිරීමේ පද්ධතියකි, එය ප්රධාන වශයෙන් අර්ධ සන්නායක ඩයි වර්ගීකරණය සහ තෝරා ගැනීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. එය රේඛීය මෝටර මගින් ධාවනය වන ද්විත්ව-හිස පික්-ඇන්ඩ්-ප්ලේස් අතකින් සමන්විත වන අතර, 0.15 mm සිට 5 mm වර්ග දක්වා වූ ඩයි සඳහා ආධාරක වන අතර, ±38 µm සම්මත XY ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවයක් ලබා දෙන අතර, විෂ්කම්භය අඟල් 8 දක්වා වේෆර් සැකසීමට හැකිය.
EPM (ඉලෙක්ට්රොනික් පික් මොඩියුලය), රේඛීය මෝටර සහ සෘජු-ධාවක මෝටර සමඟ ඒකාබද්ධව, නිරවද්ය XY ස්ථානගත කිරීම සක්රීය කරයි.











