ASM MS90 არის სრულად ავტომატიზირებული ვაფლის რუკაზე დაფუძნებული მატრიცების დახარისხების სისტემა, რომელიც ძირითადად შექმნილია ნახევარგამტარული მატრიცების კლასიფიკაციისა და შერჩევისთვის. მას აქვს ორმაგი თავიანი მატრიცების აღებისა და განლაგების მკლავი, რომელსაც მართავს წრფივი ძრავები, იჭერს 0.15 მმ-დან 5 მმ კვადრატულ მატრიცებს, გთავაზობთ სტანდარტულ XY პოზიციონირების სიზუსტეს ±38 µm და შეუძლია 8 ინჩამდე დიამეტრის ვაფლების დამუშავება.
EPM (ელექტრონული შერჩევის მოდული), წრფივ და პირდაპირი ამძრავის ძრავებთან ერთად, უზრუნველყოფს XY-ის ზუსტ პოზიციონირებას.
