
ASM MS90 er et helautomatisk waferkartbasert brikkersorteringssystem, primært designet for klassifisering og plukking av halvlederbrikker. Det har en dobbelthodet pick-and-place-arm drevet av lineære motorer, støtter brikker fra 0,15 mm til 5 mm kvadrat, tilbyr en standard XY-posisjoneringsnøyaktighet på ±38 µm, og kan behandle wafere opptil 8 tommer i diameter.
EPM (elektronisk plukkemodul), i forbindelse med lineære motorer og direktedrevne motorer, muliggjør presis XY-posisjonering.











