ASM MS90 یو بشپړ اتوماتیک ویفر-نقشه پر بنسټ د ډای ترتیب کولو سیسټم دی، چې په عمده توګه د سیمیکمډکټر ډای طبقه بندي او غوره کولو لپاره ډیزاین شوی. دا د خطي موټرو لخوا پرمخ وړل شوي دوه ګونی سر غوره کولو او ځای پرځای کولو بازو لري، د 0.15 ملي میتر څخه تر 5 ملي میتر مربع پورې د ډای ملاتړ کوي، د ±38 µm معیاري XY موقعیت دقت وړاندې کوي، او کولی شي تر 8 انچه قطر پورې ویفرونه پروسس کړي.
د EPM (د بریښنایی انتخاب ماډل)، د خطي موټرو او مستقیم ډرایو موټرو سره په ګډه، د XY دقیق موقعیت فعالوي.
