
El ASM MS90 es un sistema de clasificación de chips totalmente automatizado basado en mapas de obleas, diseñado principalmente para la clasificación y selección de chips semiconductores. Cuenta con un brazo de colocación de doble cabezal accionado por motores lineales, admite chips de entre 0,15 mm y 5 mm cuadrados, ofrece una precisión de posicionamiento XY estándar de ±38 µm y puede procesar obleas de hasta 8 pulgadas de diámetro.
El módulo de selección electrónica (EPM), junto con los motores lineales y los motores de accionamiento directo, permite un posicionamiento XY preciso.











