ASM MS90 pergaleke rêzkirina qalibên bi tevahî otomatîk e ku li ser bingeha nexşeya waferê ye, ku bi giranî ji bo dabeşkirin û hilbijartina qalibên nîvconductor hatiye çêkirin. Ew xwedan baskê hilbijartin û danîna du-serî ye ku ji hêla motorên xêzikî ve tê ajotin, qalibên ji 0.15 mm heta 5 mm çargoşe piştgirî dike, rastbûna pozîsyona XY ya standard a ±38 µm pêşkêşî dike, û dikare waferên heta 8 înç di qûtra xwe de pêvajo bike.
EPM (Modula Hilbijartina Elektronîkî), bi hevkariya motorên xêzikî û motorên ajotina rasterast, pozîsyona XY ya rastîn peyda dike.
